纳米机械手、纳米操纵仪

加拿大TNI公司LF系列纳米机械手是市面上自动化程度高的纳米操作仪器。它具有定位精度高、重复精度高、基本无漂移、闭环控制等优点。

除可配备钨探针外，还可选配纳米镊子、纳牛级力学传感器、MEMS加热模块等各种附件。

 

性能指标

系统整体

系统尺寸：13×13×2.5厘米

机械手数量： 1 – 4 个

机械手粗动

移动方式：粘滑运动

移动范围： 10 mm in XY, 5 mm in Z

大移动速度： >3 mm/sec

小移动步幅： 45 μm/sec

开环移动精度： 0.1 nm

闭环移动精度： 1 nm

准确性：<5 nm

漂移： <0.35 nm/minute

软件功能

探针自动移动至鼠标划过的任意位置

探针移动速度随电镜图像放大倍数自动调整

探针坐标位置的存在/调用

探针位置实时3D 显示

传感器自动校准

等等